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AFM

SEM의 확대 기능을 사용하여 AFM 팁을 관심 영역으로 직접 이동시킵니다. 나노미터 해상도로 표면의 지형, 기계적, 전기 및 자기 특성에 대한 정보에 액세스합니다. 포스 피드백을 사용하여 AFM 팁을 나노 조작 도구로 사용합니다. AFM은 Merlin 및 Crossbeam 시리즈에서 사용 가능하며 (기타 Zeiss SEM 시리즈에 대해서는 문의 바랍니다), 이미 존재하는 시스템은 문을 교체함으로써 간단히 업데이트할 수 있습니다.

Features and System specifications:

•SEM guided positioning of AFM tip to area of interest

•Anchored stage technology for ultra high stability and low drift

•In-chamber integration for simultaneous AFM and SEM imaging

•The system is controlled by the C26-Controller of Semilab and the Scan-Software ScanTool