DLS(Deep Level Transient Spectrometer)는 웨이퍼 제조업체 시장 및 연구 기관을 위해 불순물 및 결함 (트랩)의 특성화와 식별을 위한 가장 민감한 metrology를 제공합니다.
새로운 기술인 진동이 적은 cryostat, 신호 대비 잡음비가 향상된 온도 컨트롤러, 향상된 평가 소프트웨어는 반도체 샘플의 실험 매개 변수를 자동으로 제어하고 트랩 농도, 활성화 에너지 및 포획 단면적을 자동으로 평가할 수 있게 합니다.
Semilab PDL(Parallel Dipole Line Hall Measurement System)은 면저항, 캐리어 농도 및 모빌리티를 측정하기 위한 독립적인 장치입니다.
PDL 시스템은 AC 및 DC 필드 홀(Hall) 측정 방법을 사용하며, 영구 자석, 완전히 통합된 측정 장비 및 연구 생산성 향상을 위한 소프트웨어를 갖추고 있습니다. Semilab PDL Hall 시스템은 반도체, 화합물 재료 (III-V, II-VI), 태양 전지, TCO(transparent conductive oxides) 및 유기 전자 기기 (OTFT, OLED)와 같은 여러 재료의 측정이 가능하며 매우 높은 민감도를 가지고 있습니다.
Semilab의 COREMA 시스템은 비접촉 커패시턴스 기술을 기반으로 하며, 광범위한 비저항 범위에 걸쳐 반도체 소재의 정확한 비저항 특성화에 사용됩니다. 이는 디바이스 제조 산업에 유용합니다.
비저항과 모빌리티 값의 균일성을 알아야 공정 최적화를 달성하는 데 중요합니다. 매핑은 반도체 QA(Quality Assurance) 공정에서 중요하며 제조 중에 발생하는 비균일성을 보여줍니다.
PMR 시스템은 메모리, 자동차 또는 전원 디바이스 산업의 다양한 디바이스 프로세스 흐름 유형에 대한 실리콘 제품 웨이퍼의 이온 주입 공정을 온라인 모니터링하기 위한 비접촉 광학 방법을 제공합니다.
