본문 바로가기 주메뉴 바로가기

응용분야

디스플레이(FPT)

  • Full-tone/Half-tone (Photoresist)
    디스플레이 제조 과정 중 여러 단계에서 photoresist 두께를 파악하는 것은 매우 중요합니다. 도전 과제로는 두껍고 UV에 민감한 layer 및 매우 작은 (1-2um) 채널의 측정이 있습니다. Semilab은 이러한 어려움에 대한 해결책을 제공할 수 있으며 이를 위해 직접 이 응용 분야에 설계된 Metrology head를 사용합니다.
    관련제품
  • Printed OLED sub-pixel characterization
    OLED를 인쇄하는 것은 비용 효율적이고 비교적 간단한 기술로 유기 층을 포함하는 디바이스를 생산하는 방법입니다. 그러나 많은 경우 인쇄된 층의 균일성은 기존의 방식으로 제조된 층보다 좋지 않을 수 있습니다.
    Semilab은 단일 측정을 통해 몇 초 내에 OLED 구조의 전체 두께를 정확하게 결정할 수 있는 Metrology System을 개발했습니다. 측면 해상도는 최대 5 µm까지 높일 수 있으며, 이를 통해 인쇄 프로세스를 정밀하게 조절하고 최적화할 수 있습니다.
    관련제품
  • IGZO electrical characterization
    IGZO는 디스플레이 산업에서 최첨단 active layer 중 하나입니다. 그러나 오늘날에도 최상의 레이어 특성을 유지하기 위해 제조 공정의 정밀한 조정이 필수입니다.

    Semilab의 µ-PCR 및 접촉 시트 저항 측정 기술을 활용하면 패널을 합리적인 속도로 Mapping할 수 있습니다. 이러한 Mapping 프로세스는 레이어 증착 과정에서 부적절한 설정을 확인하고 추가 최적화의 가능성을 열어줄 수 있습니다.

    µ-PCR을 사용하면 장치 이동성과 관련된 매개 변수 (amplitude)를 평가할 수 있습니다. 또한 이 방법을 사용하여 microwave response decay curve 에서 파생된 다양한 다른 레이어 품질 매개 변수도 계산할 수 있습니다.
    관련제품
  • Sheet resistance measurement
    ion implantation 공정과 그 후의 annealing 측정은 주로 implanted layer 의 Sheet 저항을 측정하여 모니터링됩니다. Sheet 저항은 dose, energy 및 전기적으로 활성화된 implanted species 의 양에 따라 다양합니다. 따라서 디바이스 성능을 궁극적으로 결정하는 것은 Sheet 저항입니다. 따라서 Sheet 저항을 측정하는 것은 ion implantation 공정과 관련된 모든 측면을 모니터링하기에 우수한 방법입니다.

    JPV (Junction PhotoVoltage) 방법의 기본 아이디어는 np 또는 pn 층 구조를 빛으로 자극하고 이에 따른 접합 광전압을 Capacitor Probe로 수집하는 것입니다. 감지된 전위는 implanted layer의 sheet 저항, Capacitance 및 다이오드를 통한 저항과 같은 요소에 영향을 받습니다.
    관련제품
  • ELA process characterization (LTPS)
    Excimer Laser Annealing (ELA)은 Low-Temperature Poly-Silicon (LTPS) 층 제조에서 중요한 공정 파라미터로 작용합니다. ELA는 층의 결정도, 이동성 등을 포함한 디바이스의 여러 중요한 파라미터를 결정합니다. Semilab은 Optimal Energy Density (OED)를 쉽게 결정할 수 있는 Metrology 조합을 개발했습니다. 이 조합은 매우 유사한 열처리 매개 변수로 열처리된 두 개의 LTPS 샘플의 특성을 구별할 수 있습니다. 이 기능을 사용하면 ELA 공정을 미세 조정하는 것이 쉽고 빠르며, 사람의 판단이 필요하지 않습니다.

    또한, 저희의 접촉 6pp 방법을 사용하여 Sheet 저항을 결정할 수 있습니다.
    관련제품
  • Bare glass
    Bare glass의 순도는 생산 시설 내 모든 공정의 성공에 중요한 매개변수입니다. Semilab은 (virtually) 모든 다른 Metrology와 원활하게 통합할 수 있는 통합형, 사용자 친화적이며 유지 보수가 필요 없는 접촉 각도 솔루션을 제공합니다.
    관련제품