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WT

WT 제품 라인은 다양한 반도체 소재 특성화 측정을 수행하는 강력한 측정 플랫폼입니다. 기본 시스템에는 특성화 측정을 수행하는 데 필요한 모든 오버헤드 기능이 포함되어 있으며, 전원 공급 장치, 컴퓨터 및 운영 소프트웨어, X-Y 측정 스테이지 등이 포함됩니다. WT-2000은 일반적으로 웨이퍼가 프로그램 가능한 래스터로 스캔되어 맵을 생성하는 데 사용됩니다. 각 시스템은 처리 및 측정 기능을 추가하여 사용자의 요구에 맞게 구성됩니다.

Features and System specifications:

Wafer handling: Robot up to 300 mm

Cleanroom class: class 1 minienvironment

Treatments:

•Hot chuck / desorber

•Linear corona charger and pin charger

•Optical flash

•High temperature RTP