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Corema

Semilab의 COREMA 시스템은 비접촉 커패시턴스 기술을 기반으로 하며, 광범위한 비저항 범위에 걸쳐 반도체 소재의 정확한 비저항 특성화에 사용됩니다.
이는 디바이스 제조 산업에 유용합니다. 비저항과 모빌리티 값의 균일성을 알아야 공정 최적화를 달성하는 데 중요합니다.
매핑은 반도체 QA(Quality Assurance) 공정에서 중요하며 제조 중에 발생하는 비균일성을 보여줍니다.

Features and System specifications:

Application:

  •Measures compound semiconductors: GaAs, SiC, GaN, CdTe, InP

  •Resistivity measurement of compound semiconductors over a wide range 

   (1x105-1x1012 Ωcm)


Features:

  •Manual wafer handling up to 200 mm

  •Mapping capability

  •Colored topogram display of full wafer

  •Semi-automatic pneumatic placement

  •User-friendly measurement control software


Benefits:

  •Contactless, non-destructive measurement over the entire wafer surface

  •Fast evaluation

  •Excellent repeatability

  •No calibration necessary